【東京】半導体エッチングプロセス開発、社外協業の担当＜ナノテクノロジーソリューション事業統括本部＞

職種

生産技術(化学)

勤務地

東京都国分寺市東恋ヶ窪1-280 日立製作所中央研究所内

年収

519万～1,000万円

仕事内容

【業務概要】
プロセス研究開発部では、半導体デバイス製造用のプラズマエッチング装置にかかわる様々な研究開発を行っています。その中で、半導体製造用プラズマエッチング装置におけるプロセス開発および海外パートナー企業との共同開発を担当いただきます。
国内外のパートナー企業と連携しながら、次世代半導体製造プロセスの実現に向けた技術開発を推進していただきます。
パートナー企業のもつ成膜技術と、当社のエッチング技術を統合し最適化することで、新しい技術を生み出すことが出来る点が業務の魅力です。

【業務詳細】
主な業務は以下の通りです。
・最先端半導体デバイス向けエッチングプロセスの開発
・成膜プロセスとエッチングプロセスの統合最適化検討
・パートナー企業との技術協議、開発テーマ推進
・エッチング装置や各種分析装置を用いた実験・評価
・開発結果の報告、新規開発テーマの提案
・学会発表　等

＜業務キーワード＞
※下記に関連する業務経験・知見をお持ちの方は大歓迎です。
プラズマ/エッチング/イオン/粒子/流体/マイクロ波/高周波/真空/CVD/スパッタリング（スパッタ）/リソグラフィー/有機・無機材料/セラミック/シリコン/シーケンス制御/シュミレーション/SEM観察/XPS・FT-IR分析

＜業務の変更範囲＞
会社の定める業務

【製品について】
エッチング装置は半導体デバイスの製造プロセスに使われる装置です。
当社が開発する「ドライエッチング装置」は高真空反応性プラズマを利用します。真空容器内で各種のプロセスガスをプラズマ化し、化学反応と加速したイオンで薄膜を削って除去します。
当社が製造・販売するプラズマエッチング装置は、AIチップに代表される最先端の半導体デバイスの微細加工に貢献しています。
当社エッチング装置の特徴としてはECR（Electron Cyclotron Resonance、電子サイクロトロン共鳴）という技術を用いています。低圧で高密度なプラズマが生成でき、ダメージが少なく微細な加工が可能という特長があります。ECRを用いたエッチング装置を手がけているメーカは少なく、当社はその中で高いシェアを維持しております。
エッチング装置：日立ハイテク

【配属先】
プロセスシステム製品本部　プロセス研究開発部　国分寺サイト

【組織について】
プロセス研究開発部は笠戸地区約30名、国分寺地区約35名が在籍しており、以下の7つのグループに分かれております。
(1)プラズマ・エッチング制御のための新たな要素技術を開発するグループ
(2)最先端の微細加工プロセス技術の開発を行うグループ
(3)クリーン化・低異物化や、装置の長期安定稼働のための技術開発を行うグループ
(4)デバイスの3D化に伴う水平加工の必要性から等方性加工のハードウェア開発を行うグループ
(5)等方性加工のプロセス技術の開発を行うグループ
★(6)プラズマ・エッチング制御のための新たな要素・プロセス・量産性技術開発とメカニズム分析を行うグループ
(7)AIや機械学習等を活用したプロセス技術開発や装置機差低減、装置の劣化診断を推進するグループ
いずれのグループもさらに小さなチームに分かれており、それぞれの技術課題の解決のため、実験やシミュレーションを駆使し研究開発を遂行します。
(1)～(3)は笠戸地区、(4)～(7)は国分寺地区です。それぞれのグループは「課」に相当し、1グループ6ー7名程です。
いずれの地区でも新製品の研究開発を行っていますが、国分寺地区では少し先の世代の製品を担当しています。
今回は(6)への配属となり、主力製品の研究開発を担っています。

【採用背景】
パートナー企業との協業拡充に向けたプロセス開発エンジニアの増員です。複数のプロセス開発に従事するとともに、パートナー企業との交渉等も担当いただきます。

【ビジョン／ミッション】
「知る力で、世界を、未来を変えていく」という企業ビジョンのもと、社会やお客様の真の課題を正しく知り、それらを解決するための様々なソリューションを提供し続けることで、持続可能な社会の実現に貢献します。

【組織の強み／魅力】
「知る力 × グローバル × 社会課題解決 × デジタル融合」という4つの軸が強みです。

(1)「見る・測る・分析する」に加え「加工する」技術、つまり、半導体デバイスの評価・解析技術とエッチング技術において、世界トップクラスの技術力を有しています。エッチングに関しては、日立独自のECRプラズマ技術を応用した低圧・高精度・低ダメージ加工技術と、これら技術を常に進化させ続ける組織力が競争力の源泉です。
(2)グローバル展開している企業であり、海外顧客や協創パートナー企業とのコラボレーションのため、海外で活躍するチャンスが非常に増えています。
(3)社会課題に向き合う“課題起点型”企業文化が根幹にあり、「社会や顧客の真の課題を正しく知る」ことを重視しています。変化が激しい半導体製造検査装置市場で先端を走り続けることができる理由の一つです。将来の3Dデバイスに対応した原子レベル精度の等方向加工を実現する装置も上市しています。
(4)ITｘOTｘプロダクトを統合し、様々なデータ活用を顧客価値向上に繋げる事ができます。

上記に加え、社会責任やコンプライアンスを重視した企業姿勢、チャレンジを尊重する組織文化、個々の成長や挑戦を後押しする社風も魅力と考えます。

【キャリアパス】
当部署はプラズマエッチング装置に関わる研究開発や機能検証のフェーズを担う部門ですが、半導体製造装置事業全体で見ると、製品化を行う設計部門(メカ、エレキ、ソフト、プロセス)、営業部門、サービス部門、海外現地法人等が存在しています。部門内に加え、部門を跨いだ異動や人財ローテーションも可能です。語学力向上や、より顧客に寄り添った製品開発にご興味ある場合は、海外現地法人への出張/出向、新技術の習得のための海外の大学への留学、また将来的には、チームを纏めリードする立場になる、等の幅広いキャリアパスがございます。

【働き方】
ご家庭事情に合わせて一時的なリモートワークは可能ですが、基本的には出社いただき、業務を進めていただきます。
※平均残業時間は20時間ほどとワークライフバランスを整えやすい環境です。

【その他】
＜出張／駐在に関して＞
・国内拠点（笠戸）や海外拠点（米国・台湾・韓国）へ出張する場合がございます。
※国内：6回/年 程度　海外：1回/年　程度
・海外駐在：可能性有(将来的に）

応募条件

■必須
材料、物理、化学のいずれかの技術バックグラウンドをお持ちで、以下いずれかを満たす方
・半導体製造プロセスまたは半導体製造装置に関する実務経験
・プラズマエッチングまたは成膜プロセス（CVD、ALD等）いずれかに関する知識・経験（大学での研究でも可）

■歓迎
・英語による技術的なコミュニケーションに抵抗がない方
・技術課題の分析・評価および実験計画立案の経験
・エッチングプロセス開発およびエッチングメカニズム解析(SEM、膜厚計などの分析・計測)の経験
・成膜プロセス（ALD、CVD、PVD等）の開発経験
・ロジック・メモリなど半導体デバイス構造に関する知識
・成膜・エッチングの統合プロセス開発経験
・シミュレーションを用いたプロセス解析経験
・学会発表や論文投稿の経験
・海外企業との技術協議・折衝経験

休日休暇

完全週休2日制（土・日）、祝日、年間休日127日（2023年度） 年次有給休暇：24日　入社直後に付与　備考：初年度日数は採用年月日による期間按分にて付与 年末年始休暇、リフレッシュ休暇、ファミリーサポート休暇(出産・育児・介護等)

年間休日数

127日

就業時間

08:50～17:30

企業概要

＜創業1947年／2001年エレクトロニクス専門商社である日製産業と日立製作所計測器グループ、同半導体製造装置グループが統合し商社とメーカーの両機能を有するユニークな企業として誕生／「見る・測る・分析する」力で様々な社会課題解決に貢献／海外売上高比率7割超／OpenWork「社員による会社評価スコア」上位2%企業＞
※2024年4月、日立製作所ヘルスケア事業を会社分割し日立ハイテクに継承へ
★Hitachi High-Tech TV：https://www.youtube.com/@HitachiHighTechTV
★オフィス紹介動画（全社バージョン）：https://www.youtube.com/watch?v=03d_7qodGD4&t=271s
★電子パンフレット：https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/media/Company%20Profile%20_jp_tcm26-217858.pdf
◆アナリティカルソリューション…最先端の分析・自動化技術とデジタルの融合により、ヘルスケア領域に新たな価値を提供していきます。世界トップクラスの臨床検査用自動分析装置、ゲノム医療に貢献するキャピラリー電気泳動シーケンサを始めとした製品ラインアップを揃え、検査の高品質化と高効率化に貢献してきました。今後は、分子診断・検査サービスにも事業を拡大し、個別化医療から難病診断の高度化までを見据え、人々のQoL向上に貢献していきます。
・医用機器・ライフサイエンス製品：臨床検査用装置（生化学自動分析装置、検査システム他）、液体クロマトグラフ（HPLC）、ライフサイエンス製品
◆ナノテクノロジーソリューション…AI、IoT、DXなどデジタル技術の進化を支える半導体デバイス製造の最前線において、お客さまとともに新たな価値を創造していきます。世界トップシェアの測長SEM、高精度な微細加工を実現したプラズマエッチング装置および欠陥検査装置など、半導体製造プロセスにおける加工・計測・検査工程をカバーする製品ラインアップを提供しています。お客さまの課題解決に取り組み、開発期間短縮・コスト低減・生産性向上などの価値創造を目指して、プロダクトにデジタル加えた世界トップレベルのソリューションをお届けします。
・半導体製造装置：エッチング装置、計測装置・検査装置、その他サービス
・製造関連装置・ソリューション：EV/HEV開発設備、MEMSデバイス装置、イオンビームミリング装置、ウェットステーション、パワーデバイス検査装置、プリント基板製造装置、リチウムイオン二次電池向けソリューション、金型管理サービス、検査・診断評価装置、次世代産業用ロボット、自動組立システム、切削精度向上サービス、薄膜装置
◆バリューチェーンソリューション…私たちの暮らしやビジネスを支える主に産業分野におけるお客様の課題にフォーカスし、社会・環境・経済価値創出に向けた最適なソリューションを提供します。専門商社として培ってきたグローバルな顧客基盤やビジネス創出力を生かした「フロント力・課題解決力」を活用し、協創パートナーと連携することで、モノづくりにおける一連のバリューチェーン（企画、研究開発、設計、製造、保守など）や調達、製造、販売におけるサプライチェーンでのお客様の課題解決に貢献していきます。
・バリューチェーンソリューション：Full Value Chain Solution Service（フルバリューチェーンソリューションサービス）
・素材・部材：エレクトロニクス関連部材、サプライヤーの品質マネジメントソリューション、機能化学品その他、工業関連部材、自動車・輸送機器関連部材
・AI・ICTソリューション：化合物ディスカバリーAI Chemicals Informatics、材料開発ソリューション Materials Informatics、IoTプラットフォーム サービス PTC ThingWorx、データ分析・可視化BIツール TIBCO Spotfire、TCP最適化ソフトウェア、オンラインExcel共有システム　i-MATRIX、UHFリーダー&タグ、RFIDインフォメーション
・OT関連ソリューション：監視・制御システム（総合計装システムEXシリーズ、遠隔自動データ収集装置（テレメータ）、AI制御）、IoT・データ利活用、製造実行系システム、品質管理ソリューション、パネル計器、フィールド機器・分析計、マーキングソリューション、設備管理システム、制御セキュリティ、プライベートLTE／ローカル5G
◆コアテクノロジーソリューション…「解析・分析」のコア技術を起点に「環境・レジリエンス・安全安心」といった社会課題解決に貢献していきます。「電池・先端材料・エレクトロニクス・半導体・バイオ医薬品」などの各分野における研究開発から製造・品質管理の工程において、電子顕微鏡（SEM・TEM・FIB）、光度計、蛍光X線分析装置をはじめ、熱分析装置や液体クロマトグラフなどを提供しており、大学や研究機関などと連携しながら、「解析・分析」のコア技術を磨きあげ、注力市場における専用計測・検査ソリューションを創出していきます。
・電子顕微鏡/プローブ顕微鏡：半導体（デバイス、電子部品、ディスプレイ・照明）、マテリアルサイエンス（金属、セラミックス、高分子、ナノマテリアル）、ライフサイエンス（細胞・組織、植物、製薬、化粧品、食品）
・分析装置：熱分析・粘弾性装置、液体クロマトグラフ、分光分析装置、原子吸光光度計、発光分光分析装置、蛍光X線分析装置、膜厚測定装置、X線回折装置、X線検出器、質量分析装置、核磁気共鳴装置、電子スピン共鳴装置、電気化学分析装置、環境用分析・計測機器・装置、ガスバリア試験装置、オンサイト元素分析装置、固体発光分光分析装置、微生物迅速検査装置、環境規制物質の受託分析サービス

従業員数

13,397人