【新横浜】半導体検査装置検証・テスト（2024下-TRENGMI-03）

職種

実験／評価／解析(機械)

勤務地

神奈川県横浜市港区新横浜2-6-23 金子第2ビル

年収

500万～770万円

仕事内容

電子ビーム半導体検査・計測装置開発

（1）電子光学系テスト：製作された電子光学系の動作検証を行います。
（2）電子光学系調整：製作された光学系の調整を行い、性能検証を行います。
（3）仕様書・手順書作成
（4）社内報告
（5）製造担当部門への移管、設計不具合等の対応

■習得可能な技術例：
（1）超高真空技術（1.0E-8 Pa）
（2）高加速電子ビーム技術（50ｋＶ）
（3）電子顕微鏡設計
（4）高精度機械加工技術
（5）高精度高速ＸＹステージ制御技術
（6）振動解析、振動抑制技術
（7）真空ロボット、クリーン技術、各種実験、評価　等
（8）シミュレーション（磁場/電場解析、振動解析、応力解析）
（9）FMEA等分析能力

※半導体検査・計測装置NGR5000シリーズ
https://www.toray-eng.co.jp/tasmit/products/

NGR5500は、電子デバイス産業新聞主催「半導体・オブ・ザ・イヤー2022」製造装置部門グランプリを受賞したこともあります。
SEM（走査電子顕微鏡）により得られる最先端半導体ウェーハ上の微細パターン画像を、設計データと比較することにより検査、計測を行います。
最先端半導体に求められる、超多点CD測定、EPE測定、オーバーレイ測定、Hotspot検査に用いられます。

■働き方に関して
顧客が国内外にあるため、出張が必要となります。
それほど多くはありませんが、立ち上げに携わる際には長期を含む出張となることもございます。

■出向先の東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社について：
光学式半導体ウエーハ検査装置“インスペクトラ”と、電子線式半導体ウエーハパターン検査装置“NGR”の２つを核として、半導体デバイス製造のお役に立てる、高品質なソリューションを提供しております。

○東レエンジニアリングの半導体関連装置について

半導体検査装置の中でも電子線（e-beam）方式を核とした高精度検査領域で強みを持つ装置メーカーです。特にナノスケール欠陥の検出能力に優れており、光学検査では困難な微細パターン異常の可視化が可能で、2nm世代など先端プロセスへの適用が進んでいます。独自のSEM技術に加え、設計データと直接比較するDie-to-Database（D2DB）アルゴリズムにより、パターンゆらぎや微細な寸法変動を高精度に抽出できる点が特徴です。また、電子線検査の課題であるスループットについても高速化技術を確立し、量産ラインでの全数検査対応を実現しています。市場全体ではKLAや日立ハイテクが上位を占めますが、東レは高付加価値領域に特化したニッチプレイヤーとして存在感を発揮しています。主な顧客は先端ロジック、メモリ、パワー半導体メーカーであり、国内外の大手半導体企業への導入が進んでいます。

・東レ公式 半導体関連事業
https://www.semiconductor.toray/

・東レIR資料（検査装置説明）
https://www.toray.co.jp/ir/pdf/lib/lib_a632.pdf

・EE Times Japan（技術解説記事）-ナノ欠陥を見逃さない——電子線式パターン検査装置が支える2nm時代の半導体開発
https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/2603/19/news007.html

・電波新聞デジタル（市場・展開）
https://dempa-digital.com/article/390971

応募条件

・電子顕微鏡調整
・電子顕微鏡設計・製造

■歓迎条件：
・光学設計経験、及び電子光学設計経験はプラス
・半導体、液晶製造、検査装置開発（半導体検査計測装置経験はプラス）
・真空技術経験はプラス

休日休暇

完全週休2日、祝日、年末年始、夏期、有給休暇（初年度16日最高20日）、慶弔休暇他

年間休日数

120日

就業時間

09:30～18:00

企業概要

1)半導体実装装置、液晶パネル製造装置などのエレクトロニクス機器の製造ライン・システムの開発　2)化学、ファインケミカル、製品加工組立、食品、日用品などのプラント設計および施工　3)産業機械の開発4)電子プリンタ、計測機器などの電子機器の開発　5)ＣＡＥなどのソフトビジネス 　■東レ株式会社の合成繊維、プラスチックなど高分子合成の装置化技術に深く携わってきた技術者により1960年に創業。その後、ケミカル技術の裾野を広げつつ、自動化、コンピュータ技術を駆使したＦＡ分野へも進出し、エンジニアリングの事業領域を拡大する一方、繊維機器に始まった機器製作も電子機器製作へと商品の厚みを増し、エンジニアリングと機器製作を併せ持つユニークな企業として成長を遂げました。今後エレクトロニクス業界でさらなる新商品・新市場の創造と拡大を目指しています。

従業員数

2,472人